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茂丞科技发布中国首款芯片级超声波传感器，距离感测精度1毫米

分类：公司新闻
发布时间：2020-06-10
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联系方式

  • 电话：17375894269
  • 邮箱：yuyi@sonicmems.com
  • 地址：河南省郑州市郑州高新技术产业开发区梧桐街 32 号汉威物联网科技产业园 5 号楼301室

企业介绍

茂丞公司致力于第三代半导体材料-氮化铝，实现芯片级超声波MEMS换能器技术研发及商品化，是中国首款自主研发八寸晶圆生产的氮化铝（AlN）芯片级超声波传感器团队，为国内传感器领域填补了这一空白。芯片级超声波传感器基于氮化铝（AlN）材料制造，氮化铝（AlN）具有良好的压电效应，较低的介电常数使其在较小体积的设计下，能获得与块体压电陶瓷材料（PZT）相当的性能，其体积微小、功耗低更适合在便携式设备中使用。茂丞公司商品化全球第一个阵列式氮化铝芯片式超声波MEMS换能器，及自研超声波TDC驱动读出芯片，采用超声波飞行时间（ToF）测量原理，实现毫米级精准距离感测，阶段成果在多个国际学术会议上进行发表与交流，如ICEPT 2018、IEEE-NEMS 2019、ECTC 2019、ICEPT 2019等，并获2018电子封装技术国际会议最佳论文奖，2019国际电子元器件技术会议口头报告。在氮化铝超声波换能器科技创新上拥有自主知识产权，目前已获授权30余件发明及新型专利。

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